0.1兆欧·厘米至1.0兆欧·厘米之间的水（使用III型RO过滤器实现的纯度）将适合jue大多数研究实验室的
灭菌器负荷，例如对生物有害的废物，衣服，笼子，玻璃器皿，介质或一般实验室设备。另一方面，对矿物污染非常敏感的物品，例如组织样本或cGMP过程中使用的物品，仅应使用大于 1兆欧·厘米的水产生的蒸汽进行灭菌。这种纯度的水通常只能通过DI和蒸馏提纯获得。
请记住，当使用高纯水（大于1兆欧·厘米）作为蒸汽产生源时，
高压灭菌器必须由不锈钢制成，特别是箱体，夹套和蒸汽发生器和工艺管道。高纯水缺少离子或矿物质，会尝试从其接触的所有物质中滤出杂质，包括玻璃，钢和铜。这可能会导致连续腐蚀以及非不锈钢部件的过早失效。
